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　　根据市场研究机构 Yole Group 最新发布的报告，2024年大中华区MEMS（微机电系统）产业全球营收达到17亿美元，同比增长 8.4%，出货量约 54亿颗。在“AI+IoT+汽车电子”三重浪潮叠加下，Yole预计2024-2030年MEMS市场的营收复合年增长率将达到3.6%，到2030年，销量将达到66亿件，营收将达到20亿美元！中国厂商，也在这一轮技术与市场共振中，迎来了真正的“窗口期”。

　　在全球MEMS市场中，消费电子依然是*单一应用板块。尤其是在TWS耳机、智能手表、AR眼镜等可穿戴设备中，惯性传感器、麦克风与压力传感器的需求持续旺盛。Yole指出，大中华区企业已成为这一市场的核心驱动力：士兰微、瑞声科技（AAC）、歌尔微（Goermicro）、明皜传感（MiraMEMS）及敏芯股份（MEMSensing）等中国厂商，凭借在性能、可靠性与成本平衡方面的优势，占据了主流可穿戴设备供应链的重要位置。

　　更值得关注的是，不少原先主要服务于消费电子的中国 MEMS 厂商，正在向汽车与工业等高价值领域拓展。例如，士兰微电子正在研发更高精度的惯性传感器产品，并计划于 2025 年推出多款车用 MEMS 传感器产品：包括辅助驾驶系统的高精度惯性传感器、安全气囊的碰撞传感器、发动机震动监控传感器等。再比如，明皜传感在完成 2022 年 D 轮融资后，也已进军汽车领域；敏芯微控股子公司中宏微宇的 IMU 产品已实现客户突破，营业收入显著提升，该公司正着手研发未来可用于车载、机器人、农机等不同应用领域的 IMU 产品。

　　与消费类应用不同，汽车与工业市场强调高可靠性与长期稳定性。在汽车领域，安全相关应用（如TPMS胎压监测、气囊触发加速度计等）仍由Bosch、NXP、STMicroelectronics 等欧美厂商主导。但局势正在变化。随着智能座舱普及，语音控制、车内降噪与驾驶员监测系统对MEMS麦克风需求暴增——这正是中国厂商的传统强项。同时，新能源汽车的电池包安全监控、震动监测和姿态检测等新兴应用，也为惯性传感器打开了增量空间。

　　光学与微镜方面，Lidar曾被认为是MEMS微镜的*机会，但由于抗振性不足，部分方案被淘汰。虽然Lidar的短暂热潮让MEMS微镜技术受挫，但数据中心光通信成为新舞台。中国厂商正通过“硅光子+MEMS”技术路线切入光开关与波导调制器市场，目标是在高速通信与AI互联中建立新的竞争优势。2023年9月，9月，拜安科技6英寸MEMS光学传感器芯片产线颗。据悉，其MEMS光学压力传感器测量绝压精度可达0.01%，技术指标已达国际先进水平。

　　赛微电子作为国内老牌的纯MEMS代工厂，已积累了超过20年的行业经验。其全资子公司瑞典Silex，曾在2019-2024年全球MEMS纯代工厂商排名中位居*。然而，由于地缘政治风险，赛微已出售瑞典Silex的控制权，目前持股45.24%，已于2025 年7 月完成交割。转让控制权后，赛微将专注于发展并深化北京产线。赛莱克斯北京作为国内*的纯MEMS代工企业，已实现1.5万片/月的产能，并计划分阶段扩充产能，预计在未来几年将提升至3万片/月，继续在纯MEMS代工领域保持竞争力。

　　目前，芯联集成是国内规模*、技术*进的MEMS晶圆代工厂。根据Chip Insights数据，芯联集成已跻身全球MEMS代工“*梯队”，并位列全球专属晶圆代工榜单前十，居中国大陆第四。自2018年成立以来，芯联集成不仅专注于MEMS代工，还涵盖功率器件、BCD工艺、MCU等四大技术方向。在消费电子领域，芯联集成新一代高性能MEMS麦克风研发平台已经完成，填补了国内技术空白，并已进入产品送样阶段。此外，芯联还在积极扩展MEMS代工在车载领域的应用，包括ADAS智能驾驶的惯性导航、激光雷达VCSEL、微镜芯片、压力传感器及智能座舱语音识别麦克风芯片等。

　　华润微是国内较早开展且在行业内保持*的MEMS晶圆代工企业。早在2021年，其旗下无锡华润上华便将6英寸MEMS产线英寸，并成为歌尔在国内合作的首家代工厂。目前华润微已经在MEMS智能传感器领域实现了多项技术突破。例如，首次采用异构集成技术制造MEMS高端三层结构硅麦麦克风传感器，这在MEMS智能传感器领域属于国际首创，性能对标国际*水平，信噪比达到70dB，关键工艺优化完成，良率大幅提升，初步具备风险量产条件。同时，公司开发的CMOS-MEMS 喷墨打印头芯片工艺平台项目完成单芯片集成红外阵列、喷墨芯片工艺研发，目前已有 4 颗产品通过客户验证并开始风险量产。该平台是国内*具备规模制造能力的全流程喷墨打印头工艺平台，项目的实施可填补公司在该领域的技术空白。

　　其中，上海工研院（SITRI）成立于2013年，由上海市科委、嘉定区政府和新微集团共建，依托“科研—转化—产业化”一体化体系，打造了集研发、孵化与人才培养于一体的公共平台。SITRI的8英寸MEMS平台具备从研发到中试的完整能力，兼容CMOS与MEMS特殊工艺，可实现温度、红外、惯性、压力、声学等多类传感器的工艺开发与小批量量产。目前已形成14套标准化PDK工艺模块，为中国MEMS产业提供了关键的制造支撑与创新基础。

　　苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司(苏州MEMS中试量产服务平台)，是国内*的商业化6英寸全流程MEMS研发、中试和批量化生产基地，平台现有3000平方米高标准洁净厂房，总计超过200台MEMS专用设备。主要开展包括硅基MEMS以及铌酸锂等产品工艺研发、加工制造、中试量产等多项专业服务。自2014年8月产品通线以来，导入客户一百余家，累计支撑客户完成400余颗项目开发，涉及硅麦克风、微镜、滤波器、光通信器件、PZT压电产品、喷墨打印头、压力传感器、生物芯片、温度传感器、气体传感器、流量传感器、温度传感器等项目，实现单月产出5000片晶圆等一系列辉煌成绩。公司营收逐年增长，已成为国内MEMS代工的中坚力量。